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和遠氣體5月7日公告，近日，公司取得了1項發(fā)明專利，該發(fā)明專利“一種保障單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣質量的裝置”是一種保障單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣質量的裝置。該裝置系統(tǒng)保障了單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣的質量。

（文章來源：界面新聞）

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